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壓差式質(zhì)量流量控制器 D500

壓差式質(zhì)量流量控制器 D500

所屬分類：HORIBA堀場(chǎng)流量計(jì)
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  • 壓力不敏感性能
    高性能壓力補(bǔ)償新功能簡(jiǎn)化了供氣系統(tǒng)
  • 多量程、多氣體、多壓力解決方案
    新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍
  • G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能
    先進(jìn)的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測(cè)試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測(cè)試。
  • 高精度
    先進(jìn)的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度
  • 快速響應(yīng)
    響應(yīng)時(shí)間：< 0.8 秒
    可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制
  • 動(dòng)態(tài)范圍
    控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程

 

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